进入无尘室前,必须摘除的饰品包括( )
光刻区的洁净度等级要求是( )
风淋室的标准操作时间应为( )
发现手套破损时,正确的做法是( )
传递物料进入无尘室时,必须使用的设备是( )
<p><span style="font-family: 微软雅黑;">清洁工作台时,正确的擦拭方法是( ) </span></p>
<p><span style="font-family: 微软雅黑;">无尘室内允许使用的记录工具是( ) </span></p>
突发粒子计数超标时,第一步操作是( )
防静电手环的电阻要求是( )
化学品泄漏时,正确的处理顺序是( )
无尘室内允许快速走动以提高效率。
<p><span style="font-family: 微软雅黑;">防护服拉链未完全闭合时,可通过风淋室进入。 </span></p>
清洁工作台时,可用无尘布来回擦拭。
无尘服可以穿出更衣室到普通办公区。
风淋室运行时可以强行推开舱门。
传递窗内外门可同时打开以节省时间。
晶圆盒可直接平放在工作台上。
无尘室内允许使用个人手机接打电话。
发现设备异常时,可自行调整参数尝试修复。
每日需检查防静电手环是否失效。
<p><span style="font-family: 微软雅黑;">进入更衣顺序:外鞋外套放入指定位置_________ → ____________ → ____________ → ___________ → __________ 进入风淋室进入车间</span></p>
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填空1
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填空2
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填空3
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填空4
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填空5
无尘服穿戴检查三要素:无毛发外露、______、______。
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填空1
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填空2
晶圆盒摆放标准倾斜角度:______度。
IPA清洁剂的化学名称是:______。
传递窗紫外线消毒时间需≥______分钟。
请描述从外围进入无尘室的完整流程(至少包含8个关键步骤)
①刷卡测试ESD②佩戴手套检查仪容③洗手戴网帽口罩④穿戴无尘服、鞋⑤进入风淋室进入车间⑥外鞋外套放入指定位置⑦刷卡进入参观通道闸机⑧刷卡进入一更门口脱鞋进入一更
发现工作台被未知液体污染,应如何处理?
①立即停止作业②记录异常时间③通知相关人员
<p>案例背景: </p><p><span style="font-family: 微软雅黑;">员工A在光刻区操作时,手套被设备尖锐边缘划破,但未及时更换。2小时后,该区域粒子计数器报警,经查发现3片晶圆表面被汗液污染。 </span></p>
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1. 员工A的操作违反了哪些规范?
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2. 此次事件可能导致哪些直接损失?